論平行光表面檢查燈能在潔凈室中發(fā)現(xiàn)微粒及劃痕

潔凈室的目的為了滿足某些生產(chǎn)(醫(yī)療)活動的需求,將室內(nèi)環(huán)境中的微粒數(shù)量控制在一定范圍的一種特殊環(huán)境。空氣中有很多微粒,這些微粒的存在有可能對生產(chǎn)和醫(yī)療活動造成干擾和損傷。盡管潔凈室非常干凈，但是，潔凈室中仍然存在極少量的灰塵。除了空氣對流外，這些灰塵可能來自消耗品（例如手套和口罩）或由人體產(chǎn)生。（例如來自皮膚表面的死皮細(xì)胞）。

很多行業(yè)的元器件，如半導(dǎo)體元器件、光學(xué)鏡頭、液晶面板等在制造過程中，空氣中不允許有過多的灰塵顆粒；對于制造中的某些步驟，例如半導(dǎo)體，在清洗、載流子傳輸操作或涂覆光刻膠的過程中，由于空氣中的顆粒會影響產(chǎn)品質(zhì)量并造成重大損失。

所以在潔凈室中進行微粒檢查的工作是必要的！

在潔凈室中，一些沒有氣流的區(qū)域（死點）會慢慢積聚落塵。如果空氣受到干擾，這些空氣中的微塵會直接落到產(chǎn)品或工作人員身上，而不會被粒子計數(shù)器感應(yīng)到。這些灰塵顆粒不易在潔凈室內(nèi)的空氣中漂浮。當(dāng)它們因靜電或極性聚集在一起時，很難將粘性灰塵吹到排氣口。

對于這種吸附的顆粒，不僅空氣過濾器的收集效率低，而且粒子計數(shù)器也難以感應(yīng)，而且這種顆粒一旦附著在重要的表面（如光罩）上，可能會影響產(chǎn)量。（路徑越細(xì)，影響越大。）

如果操作者在一般的白光下很難從背景中分辨出灰塵顆粒，就無法有效地清潔灰塵，從而造成損失。

那么，該怎么樣觀察到樣品中的微粒和劃痕呢？

因此，本文推薦使用LUYOR-3320 LED平行光表面檢查燈，有白光，黃光，綠光等三種選擇。

如果可以使用特定波長的檢測工具或小角度的平行光檢查燈LUYOR-3320，就能有效檢測產(chǎn)品上的粘塵，從而降低不良率。

此款透鏡將led發(fā)射出的圓形光斑更改為線條性輸出，透鏡輸出上下角度為8度，左右角度為60度角度，配合10顆大功率led能夠輸出的光斑為30x1.5cm，光束集中，不照射檢查人員眼睛，能夠滿足長時間檢查工作。配合臺式支架（臺式支架另購），上下高度可以調(diào)整，也可以多臺并列安裝，檢查各種尺寸的大屏幕。

上圖為LUYOR-3320平行光表面檢查燈的綠光用于檢查wafe的particle

上圖為LUYOR-3320白色光源平行光表面檢查燈用于檢查wafe的particle

LED平行光表面檢查燈LUYOR-3320還有哪些應(yīng)用范圍？

觸控面板、太陽能基板、LED 基板、LCD 基板、貼合玻璃、光學(xué)。

鏡頭表面、硅晶圓拋光面、擴散板…等刮傷與粉塵檢查。

各式表面處理后檢查：

陽極后表面、電鍍表面、汽車烤漆表面、塑料外殼表面鍍膜層、手機鏡面外殼。

各式光電產(chǎn)品表面檢查：

玻璃表面鍍膜、觸控面板鍍膜、藍(lán)寶石基板、光罩(盒)、半導(dǎo)體晶圓、LCD面板、太陽能基板、彩色濾光片、各種Film材。

各式研磨拋光表面：

金屬加工件、塑料加工件、玻璃表面、石英表面、藍(lán)寶石表面、陶瓷基板表面。